【光刻】工艺窗口Process Window (PW)

使用硅铝（AlSi）填料的火焰钎焊的“ 工艺窗口” （process window）较窄，大约为20 °C，因此需要严格控制温度，避免由于过热导致接合部分损毁。 hydro.com. hydro.com.

在專業的半導體代工大廠裡，製程視窗(Process Window)在研發(R&D)階段如何想辦法做大，以利新製程快速研發發展，更尤其半導體製程已進入製程微縮FinFET (Fin Field-Effect ...

During the test, a Progress Pop-up. [...] · 测试过程中，一个进程窗口显示测试进度，同时还有一个“覆盖测试” 窗口显示测试中A 、B两路调谐器的射频信号。 audio-technica.

2018年3月27日 — 工艺窗口指的是保证掩模图形能正确复制到硅片上的曝光剂量和离焦量范围，它包含三个方面的信息：成像精确度、曝光度和焦深[1]。

2018年5月27日 — 这一工作被称为工艺窗口的再验证（process window qualification, PWQ）。KLA-Tencor推出了应用于实际生产的PWQ[2]。图1（a）是PWQ晶圆曝光的设置，整个晶 ...

由 洪崇偉 著作 · 2011 — ... (Process Window)，而所謂的製程空間就是製程能力，意指晶圓進行所有的製造流程能滿足其設計與製造規範。然而，目前在找出積體電路設計與製程參數最佳組合問題中，皆 ...

中文名. 工艺容限. 外文名. Process Window. 英文缩写. PW. 对于成像精确度、曝光度、焦深三个要素，分别可以用不同的参数来表示。 成像精确度的表示方法有很多，最直接的 ...

製程視窗(Process Window)是指一系列的製程. 參數範圍所允許的變化值,當機台用不同參數去. 製造時,最終結果仍然能達到要求的規格,例如. 當製程不夠穩定時,只要仍在製程 ...

在線寬越縮越小的情況下，操作範圍（Process window） 也就更顯得重要，但因機台參數之設定通常是由技術轉移或是製程工程師之經驗而獲得，有時候並非於最佳條件下操作，故尋找製程條件最佳化也相形重要。